В данной статье исследуются дефекты, возникающие в монокристаллическом кремнии при введении примесных атомов марганца (Mn) и никеля (Ni), а также их влияние на электрофизические свойства материала. Проведено сравнение воздействия Mn и Ni на кристаллическую решетку кремния с точки зрения образования вакансий, интерстициальных атомов и силицидных фаз. Рассмотрены изменения электрической проводимости, удельного сопротивления и подвижности носителей заряда. Особое внимание уделено применению методов искусственного интеллекта для моделирования и обучения данным процессам.
искусственный интеллект
моделирование
монокристаллический кремний
марганец
никель
примесные атомы
дефекты
электрическая проводимость
удельное сопротивление
носители заряда